VMR-H3030尼康NIKON高精度圖像測量儀VMR-H3030

Nikon NIKON高精度圖像測量儀VMR-H3030

NIKON VMR-H3030高精度圖像測量儀，精確的模型，可實現(xiàn)亞微米級的不確定度（300 x300x150mm載物臺）。 NEXIV VMR-H3030系列該設(shè)備具有高精度和多功能功能。 XYZ行程為300×300×150 mm。它不僅可以用于測量各種精密模具和精密零件，還可以用作精密檢測室中的主要檢測設(shè)備。 。 8方向可編程LED環(huán)形照明系統(tǒng)，自動圖像聚焦和具有掃描功能的激光自動聚焦裝置均為標(biāo)準(zhǔn)配置。具有15倍變焦倍率的5段可編程變焦鏡頭組可以在每個段之間自由切換（放大倍率），以滿足低倍率大視野觀察和搜索以及高倍率精度測量的需求。 NEXIV VMR-H3030由低熱膨脹材料制成的光柵具有很高的精度影像測量儀，加上合理的布局和堅固的硬件設(shè)計，其測量不確定度達(dá)到亞微米水平，可以滿足精密模具的檢驗。需求。

NIKON VMR-H3030高精度圖像測量儀，適合作為精密測試室的主要測試設(shè)備；

3個模型（1、2、3類型）每個都有5個放大倍率，可以滿足不同視場和放大倍率的要求；

有多種照明方法可供選擇，以確保準(zhǔn)確檢測模具邊界；

工作距離長（50 mm）可以滿足工件高度方向的空間要求；

高達(dá)15倍的變焦倍率可以滿足低倍率，大視野觀察和搜索以及高倍率精度測量的需求。與無段變焦機制相比，五段固定放大倍數(shù)自動變焦機制可以使測量更快，更準(zhǔn)確。

應(yīng)用領(lǐng)域：精密檢測室的主要檢測設(shè)備，模具和精密機械零件的測量。精密口罩

精密機械零件

Nikon NIKON高精度圖像測量儀VMR-H3030

Z120X型（帶高倍放大頭）

具有高精度平臺，與高倍放大頭配合使用，它可以精確地測量工件的細(xì)小部分（例如精密掩模和切屑凸塊高度以及其他關(guān)鍵尺寸）。光學(xué)放大倍率可達(dá)120倍，并且可以測量微距線的寬度；

高速高精度平臺有助于快速影像測量儀，準(zhǔn)確地測量較大物體的大??；

刻線的上下寬度可以分別測量；

激光自動掃描功能可用于測量芯片上微小凸起的高度和焊球的橫截面形狀；

可以評估通過激光掃描獲得的截面輪廓形狀。

應(yīng)用領(lǐng)域：各種芯片級封裝，芯片上凸塊的高度，各種精密掩模等。精確掩模，倒裝芯片上的凸塊，芯片凸塊的形貌和顏色代碼顯示

適用行業(yè)：研究實驗室，高精度模具，光掩模MEMS，晶圓凸塊等。

隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，產(chǎn)品規(guī)格變得越來越精細(xì)，因此測量工具必須能夠與產(chǎn)品相匹配以提高精度。通用測量儀器已無法滿足行業(yè)的測量需求。 VMR-H3030為您提供高精度和多種功能的測量質(zhì)量。

NIKON采用雙Y軸光學(xué)尺，可以校正工作臺移動時可能引起的扭轉(zhuǎn)變形，并改善光學(xué)尺的尺寸。

為了防止振動影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性，VMR-H3030改進(jìn)了機體的結(jié)構(gòu)并增加了其運動阻力，以減少振動對測量的影響。

高精度載物臺的設(shè)計將糾正由于XY方向的移動可能產(chǎn)生的額外應(yīng)力而導(dǎo)致測量數(shù)據(jù)出錯的六個主要因素，這會導(dǎo)致載物臺無法在XY方向上滑動。原始光學(xué)尺的軌跡。注意事項。

技術(shù)參數(shù)：

型號

VMR H3030

VMR H3030-Z120X

行程（XxYxZ）毫米

300 x 300 x 150

讀取值

0.01μm

承重

30kg

測量精度

U 1X U 1Y

0.6+ 2L /1000μm

U 2XY

0.9+ 3L /1000μm

Z軸

0.9+ L /150μm

相機

黑白CCD（逐行）；彩色CCD

工作距離

50毫米

大功率

9.8毫米

低電量

32毫米

放大倍率─視野

類型1

0.5X-9.33 x 7毫米7.5X-0.622 x 0.467毫米

1X-4.67 x3.5毫米

120X-0.039 x 0.029毫米

類型2

1X-4.67 x3.5毫米15X-0.311 x 0.233毫米

類型3

2X-2.33 x1.75毫米30X-0.155 x 0.177毫米

自動對焦方法

TTL激光聚焦和圖像聚焦

光源類型

底燈，面燈LED環(huán)形燈

（內(nèi)圈/外圈）

底燈（高倍光學(xué)頭）

表面光，暗視力

電源

AC100?240V±10％，50 / 60Hz

功耗

最大7A

尺寸和重量（寬x深x高）毫米

僅主體

915 x 1060 x 1300約450kg

主體和防震臺

1000 x 1100 x 1900約570kg

控制箱

250 x 550 x 500約31kg

尺寸（寬x深）毫米

2400 x 1400